Sıcaklık ve Nem Ölçümü
ISO 14644-3: Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 3: Test Methods" standartlarında açıklanan temiz odalarda mikrobiyal kontaminasyonu engellemek için ve prosesin hassasiyetine göre önceden ayarlanmış sıcaklık ve bağıl nem değerlerinin standartlarda belirtilen veya prosesin gerektirdiği kabul kriterlerine uygun olup olmadığının kontrolü için sıcaklık - nem ölçer kullanılarak yapılan ölçümlerdir.